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The undercutting will appear if there is no compensation on convex corner in etching of Si.
在硅的腐蚀过程中,如果不对台面凸角加以补偿,会产生严重的削角现象.
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用（110）硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管
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本文首次研究了（100）硅的、边沿＜100＞方向掩膜的各向异性腐蚀凸角削角补偿技术，成功地解决了上述问题。
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- corner area角球区;
- English Corner英语角;
- corner the marketv.囤积囤积居奇，垄断市场;
- corner storesn.<美>住宅区附近的商店( corner store的名词复数 );
- convex polygon凸多边形;
- in corner[体]本垒内角;
- corner store<美>住宅区附近的商店;
- corner shop<英>住宅区附近的小商店;
- around the corneradv.在拐角处;
- convex mirror凸镜，凸面镜;
- be in a tight corner陷入困境;陷入窘境;
- have a corner on独占（某一行业），垄断（某种商品）;
- convex lens凸球镜片;火镜;凸透镜;凸镜;
- corner kickn.角球;
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